오존을 제조하는 방법으로서는 화학법, 자외선법, 푸라즈마법, 방사선을 조사하는 방법, 무성방전법 등이 있으나 다량의 오존을 비교적 효율 높게 제조하는 것은 무성방전에 의한 방법이 좋다.
무성방전으로 오존(O₃)을 제조할 때 원료인 공기 또는 산소가 사 용되며 원료가스에 산소를 이용하면 단순공기만 일 때보다 약2 배 의 O₃을 발생 제조할 수 있다.
경제적 오존발생농도는 공기원료일 때 1중량 퍼센트, 산소 원료로 서는 1.7중량 퍼센트이다.

오존(O₃)생성율과 오존농도 원료 가스량의 관계는 도표와 같다. (표 1참조)

장치의 형식으로는 다관 식과 평판식이 있으나 폐사에서는 성능 이 가장 우수한 다관식오존발생 장치를 채택하고 있다.

1. O₃생성용의 원료 공기는 대기에서 공기여과기를 통과시켜 장 치에 송입한다.

2. 공기압축기(COMPRESSURE)에서 압송된 가열공기는 수냉 식 냉각기에서 냉각된다. 통상 20℃ 이내로 조정한다.(표2 참 조)

3. 냉각된 공기는 다시 제습기에 도입되어 2탑교체식으로된 제습 기에서 건조된다. 이것은 O₃의 발생효과를 높이는 가장 중요 한 형식이며 고체 흡착제 충진방식을 택하는 것이 좋다.

4. O₃발생기 입구에 원료공기의 유량조정변을 통하여 유입케 된다.

5. 계량된 원료공기는 O₃발생기내에 들어가서 고전압 방전전계 를 통과할 때 공기중의 산소일부가 O₃화되어 토출된다.