염색 폐수: 염료의 종류에 따라 색상과 함유량 및 질이 다양하며 대부분 응집침전 처리 또는 오존 (O₃)처리로써 색도와 COD를 저하시키고 그 농도가 높고 공정과정에 사용되는 유기산등에 의한BOD 가 포함되는 경우 강력한 오존(O₃)반응을 이용하여 처리한다. 오존(O₃)에 의한 COD평균 감소량은 오존(O₃)1에 대하여 0.7,BOD는 약 60%감소 한다.
특히 색소의 산화분해의 효과는 크다.
발효공업폐수: 식품공업의 폐수처리는 활성스라지 및 오존(O₃)처리에 의하는 것이 효과적이며 일반적으로 식품가공 공장의 원료로서 효모, 미생물, 동물질, 당질 등을 사용함으로써 COD,BOD, 부유물이 높은 값을 나타내며 부폐하기 쉬운 것이 특징이다.
  CN화물폐수: CN- + O₃ → OCN- + O₂
OCN + 2H+ + 2H₂O → CO₂+ NH+4
NH+4 + OCN- → NH₂CONH₂
NH₂CONH₂ + O₃→ CO₂+ 2H₂O + N₂

위에서 보는바와 같이 오존(O₃)에 의해CN산을 거쳐 N₂ 와 CO₂에 이르기까지 분해된다. CN이온의 분해 속도는 pH 가 높을수록 크고 특히 pH12이상에서는 현저하게 증대된 다. 또한 미량의 CH2+는 산화촉매로써 특히 유효하며 10-7 ∼10-6 mol/ℓ정도에서도 산화를 촉진하는 역할을 한다.
Phenol폐액: Phenol폐액의 처리에 있어서 오존(O₃)처리 는 염소 처리에 비해 폐수온도, pH조정이 불필요하고 클로 로 페놀과 같이 불쾌한 냄새를 갖는 중간생성물도 없고 암 모니아의 유무에 좌우되지 않는 이점도 있다.(표1)
크오크스폐수중의Phenol제거표       (단ppm)
배 수 원 페놀의 초기농도 O₃사용량 O₃/페놀 (중량비) 잔류폐놀
A공장 1,240 2,500 2.0 1.2
B공장 800 1,200 1.5 0.6
C공장 330 1,700 5.2 1.0
화학공장 290 400 1.4 0.3
석유정제공장 605 750 1.3 0.3

일반적인 처리농도로써 Phenol 1mg/ℓ제거당 2mg/ℓ의 오존(O₃)이 필요하다.
계면활성제: 계면활성제는 발포,분산,유화등의작용을 하고 물의 표면장력, 계면장력을 감소시키며 피부에서 탈지를 행하며 표피내에 이물질의 침투를 촉진하고, 미생물에 대한 독성이 강하다.
처리방법으로는 분해법과 흡착법이 있으며 오존(O₃)과미생물에 의해 저분자 화되어 일부분은 이산화탄소와 물로 분해하며 오존(O₃)주입 량은 계면활성제의 약5배를 사용 하고 제거효율은 95%정도이다. 오존(O₃)및 활성탄은 계면활성제를 다량으로 함유했을 때 사용함이 경제적이다.